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真空等離子清洗機包括一個(gè)反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內,真空泵開(kāi)始抽氣至一定的真空度,電源啟動(dòng)便產(chǎn)生等離子體,然后氣體通入到反應腔室,使腔室中的等離子體變成反應等離子體,這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應,生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物,并由真空泵抽出。
材料表面常常會(huì )有油脂、油污等有機污物及氧化層,在粘合、焊接、噴漆前需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。等離子清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理,金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料(如:聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等,是沒(méi)有極性的,這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理)等原基材料都能很好地處理,并可實(shí)現整體和局部以及復雜結構的清洗。