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等離子體表面處理是指通過(guò)等離子體中的高能粒子對材料表面進(jìn)行轟擊,使表面物質(zhì)降解,增加表面粗糙度,若等離子體中有其他活性粒子,如氧等離子,則可與表面物質(zhì)發(fā)生反應而使表面活化的一種方法.