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等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子處理機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達到常規清洗方法無(wú)法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩態(tài))、光子等。等離子處理機就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現清潔、涂覆等目的。