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等離子體清洗技術(shù)利用高能量等離子體的轟擊被清洗表面,通過(guò)物理作用使得污染物從金屬表面脫落,同時(shí),電離氣體產(chǎn)生的活性粒子會(huì )與表面的有機物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì),脫落物質(zhì)通過(guò)真空泵的抽氣作用排出以達到清洗的效果。